為了實現這些復雜的熱處理效果，退火爐被設計為具有高度靈活性和可集成性，能夠輕松融入半導體生產線的其他環(huán)節(jié)，如氧化過程。現代退火爐采用節(jié)能設計，結合纖維結構，實現了高達百分之六十的能效提升。
根據熱源的不同，退火爐可分為多種類型，包括電熱、燃煤、燃油、天然氣及燃氣退火爐。其中，自備燃氣發(fā)生爐產生的燃氣退火爐因其廣泛的應用而備受關注。這類退火窯通常省去了傳統(tǒng)的燃燒室，直接利用氣體燃燒器在加熱室內進行燃燒，有效提高了加熱效率。同時，為了進一步降低能耗，許多氣體退火窯還配備了熱交換系統(tǒng)，將空氣預熱后用于燃燒，從而減少了能源消耗。