由于真空加熱能脫氣、脫脂、除銹，使溶解在金屬中的氣體容易排出，所以真空退火后的零件表面潔凈、光亮。真空退火時，壓力加工變形的晶粒得到恢復，并生成新的晶粒，使組織均勻細化，從而改變了材料的力學性能。真空退火后，材料表面無任何潤滑劑的痕跡，表面干燥，可直接電鍍，而不需要酸洗或噴砂等清理工序，從而達到縮短工序、提高產品質量的目的。
2. 真空退火應用范圍
（1）難熔金屬的退火。鉬、鎢、鉭、鈷、釩、鋯等金屬熔點較高，易被耐火材料氧化和污染，加工過程中強度、硬度較高，若含有氫、氧、氮等氣體，則材料延展性變壞。為使它們變成型材，在壓力加工前必須用真空退火處理使其軟化。
（2）軟磁合金的退火。軟磁合金一般采用真空熔煉、真空軋制的方法制得，由于它們必須在溫度、壓力、輻射、機械載荷等作用下保持穩定的磁性能，所以需進行真空退火。
（3）硅鋼片的退火。真空退火是為了除去硅鋼片中的氫氣、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等氣體，去除氧化物和硫化物，消除內應力和晶界畸變，提高磁感應強度，降低單位鐵損。
（4）鐵鎳合金、鐵硅合金的退火。目的是改善組織組織和韌性。
（5）電工鋼的退火。目的是提高塑性和均勻的磁性能。
（6）不銹鋼的退火。目的是提高不銹鋼抗晶間腐蝕的性能。
（7）結構鋼的退火。目的是提高強度和表面光亮度。
（8）鋼絲、熱電偶絲的退火。目的是獲得光亮的表面，消除加工應力，并除去金屬絲內所含的氮、氧等有害氣體。